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三氯氢硅标准气体

三氯氢硅标准气体,专业术语氮中三氯氢硅(SiHCl3)标准气体,称重法配制,主要用于电子,半导体行业

产品详情

产品名称

三氯氢硅标准气体

其它名称

氮中三氯氢硅(SiHCl3)标准气体 三氯氢硅标定气体

配制方法

该气体标准物质采用重量法制备,在充入一定量的已知纯度的气体组分之后,分别称量气瓶,充入的气体组分的质量由两次称量的质量之差确定。

计算公式

Xi=ni/n

Xi:组分的摩尔数比(mol/mol)

Ni:组分的物质量(mol)

N:混合气体中全部组分的物质的量(mol)

置信因子

K=2(置信概率95%)

不确定度

U=2%

浓度范围

在相应饱和蒸汽压下,根据客户要求配制,最高可配置80000ppm(7MPa)

制备标准

GBT5274.12018《气体分析校准用混合气体的制备第1部分称量法制备一级混合气体》

充装压力

充填压力为 9.5 MPa,使用压力下限为 0.5 MPa

随货资料

合格证+定值证书+混合气体使用说明书

包装规格

8L/4L

气瓶标准

执行标准《气瓶安全技术规程(TSG 23-2021)》

包装参数

气体类型

常规气体

腐蚀性气体

气瓶材质

国标铝瓶

国标铝瓶+涂层

气瓶瓶阀

QF-21A型镀镍瓶阀

QF-21A型316L不锈钢瓶阀

瓶阀螺纹

出气口螺纹W21.8

出气口螺纹W21.8

适配减压阀

黄铜减压阀

3116L不锈钢减压阀

适配管道

普通

请根据相应耐腐性选择

使用须知

1、请先将瓶身固定,瓶阀向上;

2、确认合格证,定值证书(分析报告),瓶身中的瓶号参数一致;

3、确认设备及管道阀门无泄漏,确认瓶中气体物质与阀门管道材质匹配,并不会产生腐蚀等化学反应;

4、确认压力表与气瓶压力最高限值匹配;

5、连接气瓶管道及阀门,在保证其他阀门关闭情况下,打开第一级阀门确认压力表数值;

6、完成以上步骤,确认管道排空完成后,方可使用,请注意气瓶使用环境达到安全规范。